EM-pv系列 光伏专用

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EM01-PV 多入射角激光椭偏仪(光伏专用)
发布者:管理员     发布时间:2012-2-29 11:14:00    浏览次数:1968 次

特别声明:

EM01-PV-III多入射角激光椭偏仪(光伏专用)已升级至EMPro-PV极致型多入射角激光椭偏仪,主要升级内容包括:

  • 单次测量速度提高3倍;
  • 绒面测量精度提高66%;
  • 新的仪器外形,整体稳定性增强

EM01-PV-III为太阳能电池测试专用激光椭偏仪,用于单晶硅、多晶硅以及薄膜太阳能电池的膜厚和折射率测量,产品提供单晶硅专用太阳能电池样品台。

特点:

  • 高精度、高稳定性
  • 特定角度样品台,适合单晶硅太阳能电池的测量
  • 适合绒面测量
  • 操作简单
  • 快速测量
  • 快速、高精度样品方位对准
  • 多角度测量
  • 一体化集成设计

应用领域:

单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域,既适合科研院所研究使用,亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测。

性能保证:

  • 高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法以及低噪声探测技术,保证了系统的高稳定性和高准确度
  • 高精度的光学自准直望远系统,保证了快速、高精度的样品方位对准
  • 稳定的结构设计、可靠的样品方位对准,结合先进的采样技术,保证了快速、稳定测量
  • 分立式的多入射角选择,可应用于复杂样品的折射率和绝对厚度的测量
  • 一体化集成式的仪器结构设计,使得系统操作简单、整体稳定性提高,并节省空间
  • 专用软件方便太阳能电池测试和建模 

技术指标:

激光波长

632.8nm(He-Ne laser)

膜厚测量重复性

0.05nm(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)

折射率精度

5x10-4(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)

结构

PSCA

激光光束直径

<1mm

入射角度

40°-90°可选,步进5°

样品方位调整

三维平移调节:±12.5mm(X-Y-Z三轴)

二维俯仰调节:±4°

光学自准直系统监视

样品台尺寸

Φ170mm

单次测量时间

典型1.1s

推荐测量范围

0-2000nm

最大外形尺寸(长x宽x高)

980 x 660 x 430mm (入射角为90º时)

可选配件:


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