教学椭偏仪

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EX1 手动椭圆偏振测厚仪
发布者:量拓科技     发布时间:2013-2-25 15:37:00    浏览次数:2791 次

声明:

EX1手动椭圆偏振测厚仪是基于消光法(或称“零椭偏”)椭偏测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款手动教学仪器。
EX1 仪器适用于纳米薄膜的厚度测量、以及纳米薄膜的厚度和折射率测量。
EX1仪器还可用于测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。

特点

  • 消光法椭偏测量原理

  仪器采用消光法椭偏测量原理,易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。

  • 方便的样品水平放置方式

  采用水平放置样品,方便样品取放。

  • 精巧的一体化结构

  集成一体化设计,精巧的仪器外形,方便地显示仪器测量过程中的光强信息。

  • 高准确性的激光光源

  采用激光作为探测光波,测量波长准确度高。

  • 实用的样品测量功能

  可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率。

  • 方便的仪器手动操作
      手动完成测量,仪器软件辅助进行测量数据的分析。
  • 可扩展的仪器功能

  利用本仪器,可通过适当扩展,完成多项偏振测量实验,如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

应用

EX1适合于教学领域,适用于单层纳米薄膜的薄膜厚度测量,也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。
EX1可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。
  

技术指标

项目
技术指标
仪器型号
EX1
测量方式
手动
样品放置方式
水平放置
光源
He-Ne激光器,波长632.8nm
探测光束直径
Φ2-3mm
入射角度
30°-90°,步距5°,误差0.1°
偏振器方位角读数范围
0-360°
偏振器刻度
1°/格
偏振器最小读数
0.05°
样品方位调整
Z轴高度调节:12mm
二维俯仰调节:±
允许样品尺寸
样品直径可达Φ120mm
配套软件
* 多个测量项目选择
* 测量数据分析、计算、输入输出
最大外形尺寸
(入射角度70°时)长宽高:556*286*405 mm
仪器重量(净重)
13kg
选配件
* 激光二极管,波长635nm
 注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

性能保证

  • ISO9001国际质量体系认证下的仪器质量保证
  • 专业的椭偏测量原理课程讲授
  • 专业的仪器使用培训

 


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