测试案例

  光伏太阳能电池是一种重要的可再生能源转换装置，目前产业化的主要有晶体硅太阳电池和薄膜太阳电池。晶体硅太阳电池转换效率高，技术最成熟。

面临的问题

  晶体硅太阳电池主要有两种重要形式，即单晶硅太阳电池（如图1）和多晶硅太阳电池（如图2）。影响晶体硅太阳电池光电转换效率的因素包括材料、结构、工艺等，其中电池的物理和光学结构至关重要，目前规模生产的太阳电池片结构上具有基底制绒和表面镀减反膜两个重要特征。

图1   绒面单晶硅太阳电池及微观结构

图2   绒面多晶硅太阳电池及微观结构

   工艺上分两个步骤实现：（1）采用制绒设备，根据晶体硅的种类选择不同的化学原料对电池片进行腐蚀，在电池片表面制备出不同形状的绒面，这些绒面结构能够更有效地陷光，即通过增加光在表面上反射次数来提高光的吸收；（2）采用PECVD设备，在晶体硅表面上镀纳米减反膜，可以极大地减少光的反射，提高光能利用率。

   从结构与光电转换效率的关系来看，绒面上减反膜的厚度th和折射率n与光电转换效率之间存在最优化值。因此测量厚度th和折射率n就成了晶体硅太阳片质量控制的关键。

量拓解决方案

   量拓科技针对晶体硅太阳电池片研发和质量控制领域，推出了专门用于检测绒面上减反膜厚度和折射率n的椭偏仪，用于检测并优化镀膜工艺，从而提高光电转换效率。

产品包括：

• EMPro-PV 极致型多入射角激光椭偏仪
• EM12-PV 精致型多入射角激光椭偏仪

产品技术水平

• EMPro极致型多入射角激光椭偏仪：国际先进
• EM12精致型多入射角激光椭偏仪：国内领先
• 拥有多项专利和软件著作权
• 获得“第五届北京发明创新大赛”金奖
• 获得“北京市科技型中小企业促进专项”资助

典型客户

   目前，量拓科技的激光椭偏仪EM-PV系列以高品质的产品和专业的技术服务赢得了客户的赞誉，有些客户进行连续追加采购。在光伏太阳能电池领域拥有众多客户，包括：

• 无锡尚德电力、韩华新能源等有国际影响力的大型光伏企业；
• 上海艾力克、润峰电力等国内一流光伏企业；
• 国内诸多的小型光伏企业；
• 四川大学等科研客户。