
光伏专用激光椭偏仪EMPro-PV
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产品编号
2
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1
产品描述
参数
性能保证 |
|
波长: |
632.8 nm(He-Ne激光器) |
入射角: |
40°-90°可手动调节,5°步进 |
膜层厚度精度注): |
0.01nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
0.03nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
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折射率精度注) |
0.0001 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
0.0003 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
|
测量时间: |
典型测量时间0.6秒 |
膜厚范围: |
粗糙表面样品:与绒面物理结构及材料性质相关 光滑平面样品:透明薄膜可达4000nm,吸收薄膜与材料性质相关 |
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