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光伏专用激光椭偏仪EMPro-PV

EMPro-PV是ELLITOP针对光伏太阳能电池高端研发和质量控制领域推出的专用型多入射角激光椭偏仪。 EMPro-PV用于测量绒面单晶硅或多晶硅太阳电池表面减反膜镀层的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可测量光滑平面材料上的单层或多层纳米薄膜的膜层厚度,以及在632.8nm下折射率n和消光系数k。 EMPro-PV融合多项量拓科技专利技术,采用单多晶一体化样品台技术,兼容测量单晶和多晶太阳电池样品,并实现二者的瞬间轻松转换。一键式多线程操作软件,使得仪器操作简单安全。
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产品描述
参数
性能保证
  • 高稳定性的He-Ne激光光源、先进的采样方法以及低噪声探测技术,保证了高稳定性和高准确度
  • 一体化样品台技术,兼容单晶和多晶硅太阳电池样品,轻松变换可实现准确测量
  • 高精度的视频式光学自准直显微和望远系统,保证了快速、高精度的样品方位对准
  • 新型样品调节技术,有效提高样品定位精度,并节省操作时间
  • 新型光电增强技术和独特的噪声处理方法,显著降低生产现场噪声的影响
  • 一体化集成式仪器整体设计,保证了系统稳定性,并节省空间
  • 多入射角度设计,满足多功能和高稳定度的要求
  • 一键式软件设计以及丰富的物理模型库和材料数据库,方便用户使用

波长:

632.8 nm(He-Ne激光器)

入射角:

40°-90°可手动调节,步进

膜层厚度精度注)

0.01nm (对于平面Si基底上100nmSiO2膜层)

0.03nm (对于绒面Si基底上80nmSi3N4膜层)

折射率精度注)

0.0001 (对于平面Si基底上100nmSiO2膜层)

0.0003 (对于绒面Si基底上80nmSi3N4膜层)

测量时间:

典型测量时间0.6

膜厚范围

粗糙表面样品:与绒面物理结构及材料性质相关

光滑平面样品:透明薄膜可达4000nm,吸收薄膜与材料性质相关

 

 

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