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光谱椭偏仪ES01

ES01系列光谱椭偏仪是ELLITOP针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度快速摄谱型光谱椭偏仪,波长范围覆盖紫外、可见到红外。 ES01系列光谱椭偏仪基于高灵敏度探测单元和光谱椭偏仪分析软件,用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数(如,厚度)和物理参数(如,折射率n、消光系数k,或介电函数ε1和ε2),也可用于测量块状材料的光学性质。
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产品描述
参数

技术指标 

 

光谱椭偏仪特点

 

快速、精确的椭偏测量与分析

光谱范围根据配置可选,从紫外到红外 

步进补偿器扫描测量模式

宽带超消色差补偿器

多象限误差消除方法

ETES功能强大的光谱椭偏测量与分析软件

ETES向导设计,简化操作,适合新手和专家

ETES专有的材料数据库和预设的软件应用程序,简化建模

 

光谱范围

 

DU193 – 1000nm                                 DUI193 – 1700nm

U245 – 1000nm                                      UI245 – 1700nm

DIX1193 – 2100nm                               UIX245 – 2500nm

V370 – 1000nm                                       VI370 – 1700nm

NIR900 – 1700nm                               NIRX1000 – 2500nm

其它光谱范围:可定制 

 

入射角

 

A:自动变入射角度

  390°,计算机控制自动调节,准确度优于0.02 °

M手动变入射角度

     40°90°动调节,步距5°,准确度优于0.02 °

F:固定入射角度

  预设70°(或65°75°),可调节至90°实现透射测量,准确度优于0.02 °

 

测量重复性

 

针对Si上的100 nm SiO2膜厚的标片时:

膜厚重复性:0.01 nm   折射率精度:0.0005

   

准确度

 

d(Psi): 0.02 ° d(Delta): 0.04° 90°透射模式时测量空气)

 

单次测量时间

 

全光谱y / D值测量,典型测量时间5-10秒(与配置相关)

 

 

 

 

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