EX1
  • 光谱椭偏仪EX1

  • EX1 椭圆偏振测厚仪是基于消光法(或称“零椭偏”)椭偏测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款手动教学仪器。 EX1 仪器适用于纳米薄膜的厚度测量、以及纳米薄膜的厚度和折射率测量。 EX1 仪器还可用于测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率 n 和消光系数 k。
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产品描述
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技术指标:
光学结构 PCSA 结构:(P-起偏器;C-补偿器; S-样品;A-分析器) (Δ 范围为 0-360°)
测量方式:手动调节起偏器、检偏器进行测量
波长:635nm(半导体激光器)
可选:632.8nm(He-Ne 激光器)
入射角 30°-90°,精度 0.05°
偏振器方位角范围: 0-360°
偏振器刻度: 1°/格
偏振器最小读数: 0.05°
允许样品尺寸:样品直径可达Φ120mm
样品方位调整 Z 轴高度调节:12mm;二维俯仰调节:±4°

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