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快速摄谱型光谱椭偏仪ESNano
- ESNano光谱椭偏仪是应用于工业或科研领域中纳米薄膜厚度和折射率常规测量的台式解决方案。 仪器操作及其简单，仅通过放置样品、点击一个按钮，即可在数秒内完成一次高精度测量。 ESNano光谱椭偏仪采用步进补偿器扫描测量模式，利用高灵敏度阵列探测单元和专用椭偏分析软件，通过光波在样品表面反射前后偏振态的变化得到样品信息。仪器用于常规测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2），也可用于测量块状材料的光学性质。
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