一、概述
ES03A系列红外光谱椭偏仪集成了高精度、高分辨率的红外傅里叶光谱(FTIR)和高灵敏度的光谱椭偏仪，光谱范围覆盖190nm到3500nm(支持定制)。
ES03A系列红外光谱椭偏仪用于表征复杂膜系的化学、机械、电子、光学性能，可应用于光学镀层、半导体、生物、化学工业, 以及材料研究 等领域，可以测量半导体、电介质、聚合物等无机、有机薄膜的膜厚、折射率和消光系数k等，可测量单层膜、多层膜，还可以进行材料组分、梯度不均匀性、表面粗糙度以及各项异性特性的测量和分析;以及分子振动光谱范围内的有机导体、OLED 和聚合物等材料。
可用于表征：
■ 块状材料
■ 光学性质（如， 折射率 n 、消光系数 k， 或介电函数 ε 1 和 ε2）
■ 薄膜厚度（单层和多层）
■ 表面和界面膜层
■ 材料成分（混合层的比例）
■ 化学键接-分子振动
■ 光子吸收（晶体材料）
■ 掺杂浓度
■ 椭偏、非均匀性、散射、背反射、各向异性（单轴和多轴）
二、技术优势
(1) 先进的宽带补偿器：全光谱范围内采用宽带补偿器，消除测量死区
(2) 测量范围：椭偏角测量范围Ψ：0°~ 90°，Δ：0°~ 360° , 全角度范围无测量死角、并可一次测量完成，不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空；
(3) 视频式样品对准： 配置视频摄像头，可对样品表面进行显微观测；
(4) 多入射角度调节：多入射角度结构设计，增强了仪器测量的灵活性，尤其 适合于超薄样品或复杂的样品的测量场合；
(5) 反射率/透射率测量： 对样品进行光谱透射率 R 和反射率 T 测量；
(6) 一键式仪器操作：对于常规操作，只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的 测量、建模、拟合和分析过程，全光谱范围内自动测量，丰富的模型库和材料库也同时方便了用户 的高级操作需求。