一、概述
ES01系列是ELLITOP针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度、快速摄谱型光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到红外。仪器基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件，主要用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2），也可用于测量块状材料的光学性质。
二、产品特点
（1）先进的旋转补偿器测量技术：椭偏角Δ的测量范围是0-360°，无测量死角问题，也可消除粗糙表面引起的消偏振效应对结果的影响；
（2） 单次测量数据采集所需时间：最快≤0.05秒；
（3） 全光谱ψ/Δ测量时间：典型测量时间5-10秒；
（4） 原子层量级的检测灵敏度：可以测量单原子层；
（5） 视频式样品对准：精确完成样品对准，并方便观察，减小人为误差；
（6） 多入射角度调节：多入射角度结构设计，增强了仪器测量的灵活性，尤其适合于超薄样品或复杂的样品的测量场合；
（7） 反射率/透射率测量：对样品进行光谱反射率、透射率测量；
（8） 一键式仪器操作：对于常规操作，只需鼠标点击一个按钮即可完成复杂的测量、建模、拟合和分析过程，丰富的模型库和材料库也同时方便了用户的高级操作需求。
三、仪器功能
(1) 可测量样品的椭偏角Ψ和Δ；
(2) 可测量样品的Mueller矩阵的12个元素；
(3) 可测量样品的退偏系数；
(4) 可测量样品的反射率R；
(5) 可测量样品的透射率T；
(6) 可测量单层、多层纳米层构样品的膜厚d和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2）；
(7) 可测量块状材料的光学性质（n、k，或ε1和ε2）。