一、概述
ESH系列是ELLITOP针对科研和工业客户中薄膜测量推出的高精度、快速椭偏膜厚测量仪，集合了椭偏仪的高精度和膜厚仪的测量范围广、测量速度快、极小光斑（5μm）等特点，波长范围覆盖紫外、可见到红外。仪器基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件，主要用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数(如，厚度)和物理参数(如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2)，也可用于测量块状材料的光学性质。
二、产品特点
■ 先进的旋转补偿器测量技术
■ 极高的长期准确度
■ 秒级的全光谱测量速度
■ 原子层量级的检测灵敏度
■ 视频式样品对准
■ 多入射角度调节
■ 一键式仪器操作
■ 强大的专用分析软件
■ 测量速度小于1秒
■ 极小光斑（5μm）
■ 膜厚测量范围超过100μm