一、简介
自动扫描样品台组件是实现样品不同位置测量的核心模块，可对样品表面进行二维扫描测量和任意位置测量，支持软件生成测量参数的2D/3D图样，方便用户直观了解样品表面的膜厚和光学参数分布。
二、特性
（1）扫描位置、区域、路径和步长均可设置，让测量变得随心所欲；
（2）与椭偏测量模块联动，扫描过程中保持参数设置一致，确保数据可比性；
（3）超小分辨率和闭环控制让测量点定位更精准，重复性更有保障；
（4）配合软件实现自动聚焦与样品平整度补偿，减少样品倾斜或凹凸带来的误差。
三、应用场景
（1）各种在线/离线样品的mapping测量，生成测量参数的2D/3D图样；
（2）微区自动寻点，实现全自动化半导体器件的测量。