纳米光栅检测-北京量拓科技有限公司

纳米光栅检测

纳米光栅检测是对纳米尺度光栅结构进行高精度测量和表征的技术，广泛应用于科学研究、半导体制造、计量校准等领域。纳米光栅检测主要基于椭偏测量技术，当光入射到纳米光栅上时，会发生衍射现象，其偏振态也会发生特定变化。其偏振态变化与光栅的结构参数（如周期、高度、形状等）密切相关。通过分析光栅的穆勒矩阵光谱，可以实现对光栅结构的高精度测量。

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产品介绍 技术参数

一、概述

纳米光栅检测是对纳米尺度光栅结构进行高精度测量和表征的技术，广泛应用于科学研究、半导体制造、计量校准等领域。

纳米光栅检测主要基于椭偏测量技术，当光入射到纳米光栅上时，会发生衍射现象，其偏振态也会发生特定变化。其偏振态变化与光栅的结构参数（如周期、高度、形状等）密切相关。通过分析光栅的穆勒矩阵光谱，可以实现对光栅结构的高精度测量。