一、简介
VP真空泵作为光谱椭偏仪/膜厚仪的配套组件，可用于样件负压吸附测量，使样品更稳固，保证测量的准确性和重复性。
二、特性
（1）支持2/4/6/8/10/12寸样件吸附测量；
（2）真空响应速度快，提升测量效率；
（3）体积小巧，静音集成；
（4）抽气量：7L/min，可提供负压-33.3kpa压力。
三、应用场景
（1）高精度测量中，消除样品振动产生的测量误差，提高准确度和重复性
（2）快速扫描测量中，避免样品快速移动过程中的移位，实现安全测量和精准位置测量
（3）方便柔性样品和翘曲样品的固定，保证测量的准确度和重复性