一、概述
ES01系列是ELLITOP针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度、快速摄谱型光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到红外。仪器基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件，主要用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2），也可用于测量块状材料的光学性质。
二、仪器功能
三、技术特点
先进的旋转补偿器测量技术：椭偏角Δ的测量范围是0-360°，无测量死角问题，也可消除粗糙表面引起的消偏振效应对结果的影响；
极高的长期准确度：采用快速补偿器旋转、多象限误差消除方法、宽带超消色差补偿器等方式，保证了长期的准确度和可靠性；
秒级的全光谱测量速度：全光谱测量典型时间5-10秒；
原子层量级的检测灵敏度：可以测量单原子层；
视频式样品对准：精确进行样品的高低和二维俯仰对准，方便观察；
多入射角度调节：多入射角度结构设计，增强了仪器测量的灵活性，尤其适合于超薄样品或复杂的样品的测量场合；
一键式仪器操作：对于常规测量，一键完成测量、建模、分析、结果输出；
强大的专用分析软件：预设常见测量项目、数百种材料数据库并可扩展、多种色散模型。