一、概述
EP800系统是量拓科技针对平板显示领域对镀膜的检测需求，基于椭偏测量技术提供的行业解决方案。系统可对面板的层构参数和光学性质进行检测，包括：
■ 单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和光学性质（如，折射率n、消光系数k）
■ 基板的光学性质（如，折射率n、消光系数k）
■ 样品的光谱反射率
二、产品特点
■ 无损检测：采用非接触的光学椭偏测量方法
■ 多点扫描：大面积样品上的多点扫描
■ 快速：每个测量点测量时间仅需几秒
■ 高灵敏度：可达到原子层量级的膜厚检测灵敏度
■ 一键操作：点击一键即可完成样品测量和结果输出
■ 在线监测：可集成到自动化的镀膜质量检测工艺中，提高生产效率