光伏太阳能电池片在线薄膜检测系统,用于对光伏太阳能电池片表面膜层的膜厚和折射率同时进行快速检测。
一、概述
光伏太阳能电池片在线薄膜检测系统,用于对光伏太阳能电池片表面膜层的膜厚和折射率同时进行快速检测。典型样品包括:晶圆上的单层或多层纳米薄膜样品、PERC、TOPCON、异质结、IBC等工艺的绒面,太阳能电池钝化膜检测、单层减反膜(如A12O3,SiNx,SiO2,TiO2等)、双层减反膜检测(如SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx / A12O3等),也可用于测量块状材料的光学性质。
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