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ET6100A

高精度光谱反射检测系统主要用于镜面基底上的透明、半透明薄膜样品，尤其是具有表面二维单元结构的样品进行显微测量，可得到微区的单层或少数多层薄膜的膜厚，也可以得到薄膜的光学参数（如，折射率n、消光系数k）。测控系统的硬件由高精度X-Y 运动平台、晶圆机械手、定位寻边系统、Wafer ID 字符识别系统、白光干涉反射膜厚检测系统、数据获取与检测模组、检测控制系统以及自动上下料系统组成。

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产品介绍 技术参数

一、概述

高精度光谱反射检测系统主要用于镜面基底上的透明、半透明薄膜样品，尤其是具有表面二维单元结构的样品进行显微测量，可得到微区的单层或少数多层薄膜的膜厚，也可以得到薄膜的光学参数（如，折射率n、消光系数k）。

测控系统的硬件由高精度X-Y 运动平台、晶圆机械手、定位寻边系统、Wafer ID 字符识别系统、白光干涉反射膜厚检测系统、数据获取与检测模组、检测控制系统以及自动上下料系统组成。