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ET7100A

椭圆偏振法（SE）是一种表面敏感、非破坏性、非侵入性的光学技术，广泛应用于薄层和表面特征的测量。椭圆偏振光谱适合分析的材料包括半导体、电介质、聚合物、有机物和金属。测控系统的硬件由高精度X-Y 运动平台、晶圆机械手、定位寻边系统、Wafer ID 字符识别系统、高分辨率椭圆偏振光检测系统、数据获取与检测模组、检测控制系统以及自动上下料系统组成。

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产品介绍 技术参数

一、概述

椭圆偏振法（SE）是一种表面敏感、非破坏性、非侵入性的光学技术，广泛应用于薄层和表面特征的测量。椭圆偏振光谱适合分析的材料包括半导体、电介质、聚合物、有机物和金属。

测控系统的硬件由高精度X-Y 运动平台、晶圆机械手、定位寻边系统、Wafer ID 字符识别系统、高分辨率椭圆偏振光检测系统、数据获取与检测模组、检测控制系统以及自动上下料系统组成。

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