微光斑模块是ES和EGS椭偏仪的重要配件，在特殊应用场景下，如光伏电池绒面和透明基底样品测量中起到决定性作用，配合自动升降台实现样品快速定焦测量。
一、简介
二、特性
支持200/40um微光斑及其他尺寸定制；
支持消除透明基底背反射功能；
支持配备微区识别系统用于微区测量；
装调方便。
三、应用场景
高精度测量中，实现样品微小区域或微小尺寸样品的椭偏测量。
光谱椭偏仪ES01
椭偏膜厚仪ESH
波片检测仪EW1000
激光椭偏仪EMPro
光伏专用激光椭偏仪EMPro-PV
广义光谱椭偏仪EGS01
ET8100A
膜厚仪EH100-X
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