一、概述
EH300显微膜厚仪也是基于白光干涉反射光谱和显微镜相结合的测量原理。宽光谱光波垂直入射到样品表面，在样品基底和膜层之间发生干涉，配备专用软件对光波的反射光强进行分析，得到样品镀层的层构信息。
EH300显微膜厚仪是应用于工业和科研领域中微区膜厚测量的高效解决方案，仪器操作简单，可测量不同微区大小样品，厚度覆盖数百微米，可测量透明或半透明薄膜，秒计测量时间，快速完成测量。
EH300显微膜厚仪采用多种倍率的显微物镜，可以适应不同微区样品的检测需求，同时增加了目视光学系统，且手动样品台带有离合器，可快速精准定位测量点。
二、应用领域
EH300适合于工业和科研中的常规测量，可应用于多种薄膜镀层工艺检测中，如CMP、CVD、PVD及旋涂工艺等。
典型应用包括：
半导体：光刻胶、氧化物、氮化物等；
平板显示（包括LCD，PDP，OLED）：a-Si, n+-a-Si, Gate-SiNx, MgO, AlQ3 , ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide等；
光学涂层：硬镀膜、增透膜、滤光膜等；
功能性涂料：增透型、自清洁型、电致变色型、油类、Al2O3等；
高分子聚合物：PVA, PET, PP, Dye, Npp, MNA, TAC, PR等。
三、特点
显微测量：支持3-5种显微镜，可对不同微区进行显微测量；
快速测量：软件带有FFT算法，可在1秒内完成测量；
快速定位：带目视光学成像系统，快速寻找测量点位；
快速移动：带离合器手柄，全行程范围内快速移动；
快速调焦：前置低手位粗微同轴调焦机构，带防止下滑机构；
操作简单：常规操作，只需点击一个按钮即可完；
金相分析：搭配金相显微镜，可观察材料表面金相；
明暗切换：可进行明暗场切换，方便观察微区样品；
高效稳定：适用于工业现场，稳定可靠；
经济实用：能够满足膜厚的常规测量，成本较低。